半导体晶体在制备过程中,需要用到一个基座来承托半导体晶体,此基座需要有良好的导热/散热性能和优秀的化学稳定性,一般使用石墨基座。但是随着使用次数增加,石墨基座会因为腐蚀性气体的腐蚀和金属的残留,使其发生腐蚀掉粉石墨基座的使用寿命会大打折扣,与此同时,掉落的石墨粉体还会对半导体器件造成污染。基于上述情况,通过在石墨基座上增加碳化硅、碳化钽涂层,可大大降低腐蚀性气体对石墨基座的腐蚀,提高了石墨基座的使用寿命,同时热导率和化学稳定性也进一步提高。

碳化硅涂层制品和碳化钽涂层制品,具有高纯度、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、抗烧蚀等特性,可以应用到诸多极限工况环境。半导体单晶、外延、扩散、刻蚀等制作过程对碳化硅涂层和碳化钽涂层耗材需求超过100亿元规模,并且根据国内半导体的建线速度,耗材的每年需求增幅超过20%。九山半导体可以为半导体行业提供一流的高纯(光学级)、超高纯(电子级)的关键部件、功能器件以及方案,供应链安全可控,满足我国第三代半导体和集成电路发展战略的需要。

湖南九山半导体科技有限公司注册地址位于长沙高新技术产业开发区桐梓坡西路519号。公司是致力于半导体新材料的研发、生产、销售和服务,公司依托国防科技大学和南方科技大学团队的技术沉淀和产业应用开发,以碳化硅涂层、碳化钽涂层等为核心技术进行产业化运营,产品广泛应用于半导体、航天航空、核工业等领域,公司生产的多项产品可替代进口,属于国内产业发展的“卡脖子”产品。

湖南九山半导体科技有限公司租赁原长沙市宇顺显示技术有限公司B栋厂房一楼G柱以南及C栋办公楼一楼展厅及夹层下方会议室,新建年产5000件高端碳基新材料项目。该项目已在湖南湘江新区行政审批服务局备案(项目代码:2401-430101-04-01-101631)。
根据《中华人民共和国环境保护法》(中华人民共和国主席令第七十七条)、《中华人民共和国环境影响评价法》和《建设项目环境保护管理条例》(国务院令第682号)等法律法规要求,本项目需进行环境影响评价。对照《建设项目环境影响评价分类管理名录(2021年版)》,本项目属于“三十六、电子元件及电子专用材料制造—81电子元件及电子专用材料制造398—半导体材料制造;电子化工材料制造”,应编制环境影响报告书。因此,湖南九山半导体科技有限公司委托中皓生态环境有限公司(以下简称:我公司)承担该项目的环境影响评价工作。
本项目建设符合国家产业政策,符合长沙高新技术产业开发区规划,符合《湖南省“三线一单”生态环境总体管控基本要求暨省级以上产业园区生态环境准入清单》管控要求,选址可行,平面布局合理。在公示期间,未收到公众的反馈意见。在切实落实报告书提出的各项环保措施及风险防范措施的前提下,本项目各项污染物可实现达标排放,固体废物可得到有效利用或处置,环境风险能够得到有效控制,项目营运对周边环境及其环境保护目标的影响较小,能够满足环境功能规划要求。因此,从环境保护角度而言,本项目可行。
